광학 모듈

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Model Description Partnumber Accuracy Repeatability Measurement rate Working range Light source
자동광학검사기(AOI)의 자동초점(AF) 기능 구현을 위한 광학계-검사대상 간 거리 측정 센서   EO-AFS-34  1 µm  1 µm  1 kHz  34 ±1  VIS / NIR 적용 가능 
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