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검사 대상체의 굴곡을 실시간으로 포커싱이 가능한 고속/고정밀 AutoFocus Actuator |
EO-AFA-260 |
AFS 스펙 참고 |
<0.5 µm(정지상태) |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
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1 µm 정밀도 & 3 kHz 고속 AutoFocus Sensor HS |
EO-AFS-20-SP250HS / EO-AFS-14-SP500HS / EO-AFS-34-COMHS / EO-AFS-20-MX500HS |
± 1 µm |
< 1 µm |
< 0.2%F.S |
>3 kHz |
± 400 µm |
외부 반사식 레이저 삼각법 |
렌즈 배율에 따라 상이 |
