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검사 대상체의 굴곡을 실시간으로 포커싱이 가능한 고속/고정밀 AutoFocus Module |
EO-AFA-260 / EO-AFCB24V2A / EO-AFS-XXX-HS |
AFS 스펙 참고 |
<0.5 µm(정지상태) |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
AFS 스펙 참고 |
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1 µm 정밀도 & 최대 9 kHz 고속 AutoFocus Sensor HS |
EO-AFS-5530-MX500HS / EO-AFS-14-SP500HS / EO-AFS-20-SP250HS / EO-AFS-20-APD167HS / EO-AFS-4582-COMHS |
± 1 µm |
< 1 µm |
< 0.2%F.S |
3 ~ 9 kHz |
± 400 µm |
외부 반사식 레이저 삼각법 |
렌즈 배율에 따라 상이 |
