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Model Measurement Speed Measuring Range Vertical Resolution Optical Resolution Maker
10000 Hz 24000 μm 750 nm 11 μm STIL 
10000 Hz 12000 μm 400 nm 11 μm STIL 
10000 Hz 4000 μm 120 nm 4.6 μm STIL 
10000 Hz 1300 μm 50 nm 2.6 μm STIL 
10000 Hz 400 μm 17 nm 1.7 μm STIL 
10000 Hz 150 μm 7.5 nm 1.1 μm STIL 
10000 Hz 100 μm 5.5 nm 1.1 μm STIL 
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