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Line
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Measurement Speed
10000Hz
2000Hz
Measuring Range
24000μm이상
10000μm이상~24000μm미만
1000μm이상~5000μm미만
100μm이상~500μm미만
Working Distance
20mm이상
10mm이상~20mm미만
10mm미만
Max. Object Slope
±42.5deg
±42deg
±28deg
±25deg
±21deg
±14deg
±8.5deg
Spot Size
5μm미만
5μm이상~10μm미만
10μm이상~20μm미만
20μm이상~30μm미만
30μm이상
Vertical Resolution
700mm이상
600mm이상~700mm미만
500mm이상~600mm미만
400mm이상~500mm미만
300mm이상~400mm미만
200mm이상~300mm미만
100mm이상~200mm미만
100mm미만
Accuracy
1600nm이상
1000nm이상~1600nm미만
300nm이상~1000nm미만
100nm이상~300nm미만
100nm미만
Optical Resolution
10μm이상~18μm이상
5μm이상~10μm이상
2μm이상~5μm미만
1μm이상~ 2μm미만
Numerical Aperture
0.75
0.71
0.46
0.41
0.33
0.21
0.14
Maker
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Spot Size
Vertical Resolution
Accuracy
Optical Resolution
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