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광학 모듈

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Model Description Partnumber Accuracy Precision Linearity(R²) Data rate Mesuring range Sensing type Working distance
검사 대상체의 굴곡을 실시간으로 포커싱이 가능한 고속/고정밀 AutoFocus Actuator  EO-AFA-260  AFS 스펙 참고  <0.5 µm(정지상태)  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고 
1 µm 정밀도 & 3 kHz 고속 AutoFocus Sensor HS  EO-AFS-20-SP250HS / EO-AFS-14-SP500HS / EO-AFS-34-COMHS / EO-AFS-20-MX500HS  ± 1 µm  < 1 µm  < 0.2%F.S  >3 kHz  ± 400 µm  외부 반사식 레이저 삼각법  20 / 14 / 34 / 20 
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