Logger Script
Glass 3way scan Module
글라스와 같은 투명 기판 가장자리(측면, 상/하 챔버)를 검사하기 위한 고속 라인 스캔용 이미징 모듈

주요 특징

1) 라인스캔 방식의 고속 검사 기기

2) 3mm 이상의 넓은 상/하면 이미지 제공

3) 3µm 광학 분해능과 높은 DOF의 TC렌즈 제공

4) 표준 제품 외 커스텀 개발 통한 다양한 두께 가능


웨이퍼 및 글라스 고속 엣지 검사의
완벽한 솔루션

웨이퍼나 글라스 엣지의 상/하/측면의 이미지를 고속으로 동시에 얻을 수 있기 때문에, 기존 육안 검사 대비 향상된 속도와 정확도로 웨이퍼 및 글라스 엣지 검사에 완벽한 이미징 솔루션을 제공합니다.

애플리케이션

웨이퍼 및 글라스 엣지의 상/하/측면의 Crack, Burr, Chipping 등의 결함 이미지를 한번에!

제품 상세

FOV 24mm
(측면 : 8mm, 상/하 챔퍼 : 8mm)
System resolution 2.5µm/pixel
Optical resolution 3.9µm@F8
검사 가능 두께 1.0mm ~ 3.0mm
DOF 59µm

Dimension 

W x D x H

482.0 x 140.5 x 211.6

 

 

주요 사양

Module Type One-shot Line Scan 
Partnumber EO-MVO-3W0808-CR200 
Application Edge & Side Inspection 
Description 글라스와 같은 투명 기판 가장자리 여러면을 검사하기 위한 고속 라인 스캔용 이미징 모듈 
Pixel Resolution 3.9 µm
FOV 24 mm
Line rate
DOF 59 µm
min.Defect Height
Interface
Stand-off distance
Dimension 482.0 x 140.5 x 211.6 mm

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