- 대면적 DIC 현미경을 이용한 검사
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대면적 DIC* Microscopy * DIC : Differential Inteference Contrast
□ 기본 구조 및 원리
① 빛이 통과하며 45° 편광됨
② 편광된 빛이 프리즘을 지나며 수직과 수평 편광으로 분리됨.
③ 분리된 빛이 렌즈를 통과하며 모아짐.
④ 근접한 두 빛이 물체의 표면 굴곡에서 반사 후 서로 다른 경로로 이동.
⑤ 두 가지의 경로를 가진 빛이 objective lens를 통과함
⑥ 렌즈를 통과한 빛이 프리즘을 지난 후 다시 결합하며 간섭현상이 발생함.
⑦ 이 과정에서 간섭 현상에 의해 미세 불량이 과장되어 표현이 됨.
⑧ 간섭 무늬가 생긴 빛이 편광판을 통과하며 센서에 맺히게 됨
□ 대면적 현미경 구현 원리
렌즈의 성능을 결정하는 NA’은 다음의 식으로 계산됨. NA’=sin(ØExP / 2∙f’tube) ※ ØExP : 대물렌즈의 exit pupil 직경 ※ f’tube : tube lens의 초점거리 ① 작은 센서용 현미경 렌즈는 짧은 초점거리를 가진 tube lens를 사용하기 때문에 ØExP가 작더라도 선명한 이미지를 얻음.
② 센서가 커지면 tube lens의 초점거리가 길어져야 하며 이에 따라 NA’이 작아져 이미지가 흐릿해짐.
③ 그러므로 대면적 센서에 대응하기 위해서는 길어진 초점거리만큼 대물렌즈의 ØExP도 증가시켜야 함.
□ 대면적 현미경 구현 (Mag.X 125 DIC)
□ 응용 분야 [디스플레이 도전볼]
□ 응용 분야 [연마 글래스 표면]
□ 응용 분야 [마이크로 렌즈 어레이]
□ 응용 분야 [연마 금속 표면]
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