Autofocus System

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Comparison Model Description Partnumber Accuracy Precision Linearity(R²) Data rate Measuring range Sensing type Working distance
1 µm 정밀도 & 최대 9 kHz 고속 AutoFocus Sensor HS  EO-AFS-5530-80PHA2/EO-AFS-4514-4226A2/EO-AFS-4520-8030A2/EO-AFS-4520-C021A2/EO-AFS-4582-90PHA2  ± 1 µm  < 1 µm  < 0.2% F.S  3 ~ 9 kHz  ± 400 µm  외부 반사식 레이저 삼각법  렌즈 Magnification에 따라 상이 
검사 대상체의 굴곡을 실시간으로 포커싱이 가능한 고속/고정밀 AutoFocus Module  EO-AFA-260 / EO-AFCB24V2A / EO-AFS-XXX-HS   AFS 스펙 참고  <0.5 µm(정지상태)  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고  AFS 스펙 참고 
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