Logger Script
AutoFocus Sensor
1 µm 정밀도, 3 kHz 고속 AutoFocus Sensor HS

고속의 검사 환경에서 실시간으로 자동초점이 가능한
고속/고정밀 AutoFocus Sensor를 소개합니다.

앤비젼의 AutoFocus 센서는 고속 in-line AOI 어플리케이션에서 실시간 자동 구현할 수 있는 레이저 삼각법 기반의 비접촉 방식 센서입니다.
1 µm 정밀도와 3kHz 센싱 속도를 통해 Tact Time 단축을 위한 고속 AOI (자동 광학 검사기) 환경에서도 광학계와 검사 대상체간 변위를 정밀하게 센싱이 가능합니다.

주요 특징

1) 비접촉 방식 레이저 변위 센서

2) 고속 스캔 어플리케이션을 위한 고속 / 고정밀 측정

3) Field-proven 센싱 알고리즘

4) VIS 또는 NIR 소스 적용 가능

5) 다양한 타입의 시료에 적용 가능

6) 5.0x 배율 이하의 Macro 렌즈에 적용 가능

7) 5.0x 배율 이하의 Microscopy 대물렌즈에 적용 가능

애플리케이션

- FPD

- PCB

- Film

- Semiconductor(Wafer)

주요 사양

Description 1 µm 정밀도 & 3 kHz 고속 AutoFocus Sensor HS 
Partnumber EO-AFS-20-SP250HS / EO-AFS-14-SP500HS / EO-AFS-34-COMHS / EO-AFS-20-MX500HS 
Accuracy ± 1 µm 
Precision < 1 µm 
Linearity(R²) < 0.2%F.S 
Data rate >3 kHz 
Mesuring range ± 400 µm 
Sensing type 외부 반사식 레이저 삼각법 
Working distance 20 / 14 / 34 / 20 

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데이터시트 AutoFocus Sensor HS Datasheet(영문) 다운로드
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